1、深孔內及部品空氣（qì）能被吸出，清（qīng）洗液能容易流入，清洗能力大（dà）幅提高（gāo）。
2、清（qīng）洗液中的氣體被脫（tuō）出後，超聲波（bō）效果更好（hǎo）。                         
3、清洗液可以被加（jiā）熱到引火（huǒ）點以上，對汙（wū）垢的溶解力倍增。                         
4、在清洗中利用高溫液體給清洗部品提（tí）供均一、必要的熱量為後麵（miàn）幹燥工序。                         
5、在真空中溶液沸點下降蒸發速度加快（kuài），因迅速（sù）形成（chéng）高真（zhēn）空，覆著在物體上的溶劑一舉揮發。